雙軸全自動(dòng)劃片機(jī)是一種高精度半導(dǎo)體切割設(shè)備,采用雙主軸同步驅(qū)動(dòng)技術(shù),可實(shí)現(xiàn)晶圓、陶瓷、玻璃等脆性材料的高效精密切割。該設(shè)備配備先進(jìn)視覺對(duì)位系統(tǒng),自動(dòng)完成材料定位與路徑校準(zhǔn),支持CCD圖像識(shí)別和激光測(cè)距雙重定位,切割精度可達(dá)±1μm。雙軸獨(dú)立控制系統(tǒng)支持異形切割和階梯切割功能,搭配高剛性直線電機(jī)和空氣主軸,轉(zhuǎn)速可達(dá)60000rpm,切割速度達(dá)300mm/s。智能化的操作界面集成壓力傳感和溫度補(bǔ)償功能,確保切割過程穩(wěn)定可靠,廣泛應(yīng)用于集成電路、LED、傳感器等精密電子元件的加工領(lǐng)域。
BT8000 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開槽。 機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作。該機(jī)型配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。
查看詳情 +bote@botetech.com
關(guān)注微信